GasPro^TM  TEM-1700全316L超高純度在線過濾器

GasPro^TM TEM-1700系列過濾器專為在高達200標準升每分鐘(slpm) 和200oC (392oF)的條件下，過濾3nm顆粒而設計。

其全316L不銹鋼焊接結構提供了出色的烘烤特性，實現快速干燥和在線驗證。

GasPro^TM TEM-1700系列產品采用標準的半導體行業接口，便于安裝。

規 格

•  過濾精度

有效過濾3nm顆粒

• 最高工作溫度

在惰性氣體環境中可高達200°C (392°F)

• 最高工作壓力

1700, 1740和1770 系列：在20°C (68°F)時可承受206.8 bar (3,000 psig)。

典型應用

• 氣體柜和特種氣體管道的過濾。

• 氣體面板的點對點工藝氣體過濾。

特點和優勢

• 結構

采用全316L不銹鋼燒結纖維介質和硬件，確保耐用性和高純度。

• 電拋光外殼

過濾器組件具有小于10Ra的電拋光316L不銹鋼外殼，可防止腐蝕和內表面顆粒堆積。

• 出廠清潔度

GasPro™ TEM-1700過濾器在潔凈室中進行清潔和包裝，確保無有機物處理，實現開箱即用的無顆粒、無化學污染的清潔度。最終組裝時使用過濾后的氮氣進行吹掃，以確保初始清潔度，并可根據需要進行額外的預處理。

• 100%氦氣泄漏測試

 所有單元均經過1x10?? atm cc/秒的氦氣泄漏測試，確保密封性。

注：以上僅列出部分型號，更多長度和接口選項，請聯系北京亙辰科技有限公司。